공정 이상 진단 방법
- Status
- 등록
- Application/Registration Number
- 10-2409184
- Application/Registration Date
- 2022-06-10
- Application/Registration Country
- 대한민국
- Year
- 2022
- Link
- https://doi.org/10.8080/1020200157277 24회 연결
공정 이상 진단 방법이 제공된다. 공정 이상 진단 방법은 공정 변수를 서브그룹으로 분류하는 서브그룹 모델링 단계, 상기 서브그룹에 대하여 전달 엔트로피를 계산하는 전달 엔트로피 평가 단계, 및 상기 전달 엔트로피로부터 인과 관계 치수를 도출하여 공정 이상을 진단하는 공정 이상 진단 단계를 포함한다.